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      數(shù)字化深能級(jí)瞬態(tài)譜儀DLTS

      簡(jiǎn)要描述:半導(dǎo)體技術(shù)的一個(gè)重要目標(biāo)是減少所有構(gòu)成半導(dǎo)體器件中,晶體和非晶層中固有的和因生產(chǎn)工藝引起的缺陷。雜質(zhì)、晶界、晶面等引起的缺陷會(huì)導(dǎo)致陷阱的產(chǎn)生,陷阱可以俘獲自由電子和空穴。即使?jié)舛确浅5?,陷阱也能ji大地改變半導(dǎo)體器件的性能。數(shù)字化深能級(jí)瞬態(tài)譜儀DLTS是現(xiàn)在一種非常通用的技術(shù),可用于測(cè)定與陷阱相關(guān)的幾乎所有參數(shù),包括密度、熱界面(熱發(fā)射率)、能級(jí)和空間剖面等。

      • 產(chǎn)品型號(hào):
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 更新時(shí)間:2024-09-23
      • 訪  問(wèn)  量:2471

      詳細(xì)介紹

          半導(dǎo)體技術(shù)的一個(gè)重要目標(biāo)是減少所有構(gòu)成半導(dǎo)體器件中,晶體和非晶層中固有的和因生產(chǎn)工藝引起的缺陷。雜質(zhì)、晶界、晶面等引起的缺陷會(huì)導(dǎo)致陷阱的產(chǎn)生,陷阱可以俘獲自由電子和空穴。即使?jié)舛确浅5?,陷阱也能ji大地改變半導(dǎo)體器件的性能。數(shù)字化深能級(jí)瞬態(tài)譜儀DLTS是現(xiàn)在一種非常通用的技術(shù),可用于測(cè)定與陷阱相關(guān)的幾乎所有參數(shù),包括密度、熱界面(熱發(fā)射率)、能級(jí)和空間剖面等。

      主要特點(diǎn)

      ●快速而靈敏地檢測(cè)半導(dǎo)體中的電活性缺陷

      ●高靈敏度:體陷阱檢測(cè)限< 109 atoms/cm3;

      ●具有低至3微秒的快速響應(yīng)時(shí)間

      ●具有對(duì)過(guò)載的快速恢復(fù)能力以及對(duì)泄露電流的高免疫能力

      ●快速溫度掃描能力:每8分鐘100K且不影響靈敏度

      ●高達(dá)60dB的背景電容抑制能力度 

      ●數(shù)字采集包括:16位分辨率,1毫秒的采樣增量,50倍的時(shí)間跨度,和不限平均點(diǎn)數(shù)的平均瞬態(tài)

      ●單次溫度掃描可同時(shí)記錄不同發(fā)射率窗下的8幅譜圖

       

      數(shù)字化深能級(jí)瞬態(tài)譜儀DLTS主要應(yīng)用

        ●PN結(jié)                 ●肖特基二極管

        ●MOS管             ●LED

        ●場(chǎng)效應(yīng)管           ●半導(dǎo)體激光器

        ●高電阻率半絕緣材料    

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